PROCESSUS DE FABRICATION COLLECTIVE DE MEMBRANES ET DE CAVITÉS À HAUTE PRÉCISION DE PETIT VOLUME
| N° de brevet: |
WO2007128705 (A1) |
| Date de publication: |
2007-11-15 |
| Inventeur(s): |
COLLET JOEL [FR];NICOLAS STEPHANE [FR];PISELLA CHRISTIAN [FR]; |
| Demandeur(s): |
TRONIC S MICROSYSTEMS [FR];COLLET JOEL [FR];NICOLAS STEPHANE [FR];PISELLA CHRISTIAN [FR]; |
| Classification: |
B81C1/00;F04B43/04; |
| N° de demande: |
WO2007EP54106 20070426 |
| Numéro(s) de priorité: |
FR20060051511 20060428;US20060838814P 20060817 |
L'invention concerne un processus de fabrication collective de cavités et/ou de membranes (24) d'épaisseur donnée d, dans une plaquette constituée d'une couche semi-conducteur sur isolant, comprenant au moins une couche de surface semi-conductrice d'épaisseur d sur une couche isolante, cette couche isolante elle-même étant supportée sur un substrat, ledit processus consistant : - à graver la couche de surface semi-conductrice d'épaisseur d, la couche isolante constituant une couche d'arrêt, pour réaliser lesdites cavités et/ou membranes dans la couche de surface.
| 
