DISPOSITIF SENSIBLE A UN MOUVEMENT COMPORTANT AU MOINS UN TRANSISTOR- Brevets FR2901263 (A1)

DISPOSITIF SENSIBLE A UN MOUVEMENT COMPORTANT AU MOINS UN TRANSISTOR

N° de brevet:	FR2901263 (A1)
Date de publication:	2007-11-23
Inventeur(s):	OLLIER ERIC;DURAFFOURG LAURENT;ANDREUCCI PHILIPPE;
Demandeur(s):	COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE [FR];
Classification:	B81B7/02;H01L29/78;
N° de demande:	FR20060051822 20060518
Numéro(s) de priorité:	FR20060051822 20060518

L'invention concerne un dispositif de détection par au moins un transistor (2) avec canal vertical, comportant une structure mécanique (14), mobile par rapport au transistor, dans un plan contenant le drain (10), la source (8) et le canal (12) du transistor.