PROCEDE COLLECTIF DE FABRICATION DE MEMBRANES ET DE CAVITES DE FAIBLE VOLUME ET DE HAUTE PRECISION
| N° de brevet: |
FR2900400 (A1) |
| Date de publication: |
2007-11-02 |
| Inventeur(s): |
COLLET JOEL;NICOLAS STEPHANE;PISELLA CHRISTIAN; |
| Demandeur(s): |
TRONIC S MICROSYSTEMS SA [FR]; |
| Classification: |
B81B3/00;B81C1/00;F15C5/00; |
| N° de demande: |
FR20060051511 20060428 |
| Numéro(s) de priorité: |
FR20060051511 20060428 |
L'invention concerne un procédé de réalisation collective de cavités et/ou de membranes (24), ayant une épaisseur d donnée, dans une plaque, dite de semi-conducteur sur isolant, comportant au moins une couche superficielle de semi-conducteur d'épaisseur d sur une couche d'isolant, cette dernière reposant elle-même sur un substrat, ce procédé comportant :- la gravure de la couche superficielle de semi-conducteur d'épaisseur d, la couche d'isolant formant une couche d'arrêt, pour former lesdites cavités et/ou membranes dans la couche superficielle.
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