FOUR DE TRAITEMENT THERMIQUE, SYSTÈME DE DISTRIBUTION DE GAZ ASSOCIÉ ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS DE DISTRIBUTION D'UN GAZ DE TRAITEMENT

N° de brevet: WO2007117894 (A1)
Date de publication: 2007-10-18
Inventeur(s): DIP ANTHONY [US];MALSTROM ERIC J [US];
Demandeur(s): TOKYO ELECTRON LTD [JP];TOKYO ELECTRON AMERICA INC [US];DIP ANTHONY [US];MALSTROM ERIC J [US];
Classification: C30B25/14;C23C16/455;
N° de demande: WO2007US64461 20070321 
Numéro(s) de priorité: US20060277814 20060329 
L'invention concerne un système de distribution de gaz permettant de distribuer un gaz de traitement à partir d'une alimentation (14) dans un four (10) de traitement thermique, un four (10) de traitement thermique équipé du système de distribution de gaz, et des procédés de distribution d'un gaz de traitement dans un four (10) de traitement thermique. Le système de distribution de gaz comprend une pluralité de régulateurs (16, 18), par exemple des dispositifs de réglage du débit massique, dans un collecteur (25) de gaz de traitement couplant une alimentation (14) en gaz à un four (10) de traitement thermique. Lesdits régulateurs (16, 18) permettent d'établir une pluralité de flux d'un gaz de traitement correspondants à une pluralité de débits communiqués par le collecteur (10) de traitement thermique au four (10) de traitement thermique. Le système de distribution de gaz peut être un composant du four (10) de traitement thermique comprenant également un revêtement (38) entourant un espace (26) de traitement à l'intérieur du four (10) de traitement thermique.

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