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MICROSYSTEME PIEZOELECTRIQUE POUR L'ISOLATION VIBRATOIRE ACTIVE DE COMPOSANTS SENSIBLES AUX VIBRATIONS
Microsystème pour l'isolation vibratoire active, caractérisé en ce qu'il comporte un support qui comprend un cadre (1) et au moins deux poutres (2a, 2b) qui se croisent et portent ou sont destinées à porter un élément à stabiliser (3), lesdites poutres (2a, 2b) portant au moins une couche piézoélectrique (4a, 4b, 4c) et des électrodes qui définissent différentes zones piézo-électriques, dont au moins deux (4a, 4c) sont des zones piézoélectriques de mesure, sensibles aux déformations de la ou des poutre(s) qui les porte, et dont au moins une (4b) est une zone piézo-électrique d'activation, commandée en fonction des signaux en sortie des zones piézoélectriques de mesure selon une loi de commande de stabilisation.
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