|
DISPOSITIF MICRO–ELECTRONIQUE INERTIEL A INTEGRATEUR LIQUIDE
Un dispositif micro-électronique inertiel comporte, dans un empilement de couches, une enceinte et une masse reliée à la paroi de cette enceinte par des éléments déformables en sorte d'être mobile dans cette enceinte parallèlement aux couches suivant une unique direction dite direction sensible, cette masse mobile étant montée mobile dans un alésage de l'enceinte en sorte de former un étranglement séparant cette enceinte en deux cavités, cette enceinte étant remplie par un fluide sensiblement incompressible formant une phase unique.
|