DEPOT SELECTIF DE FILMS CONTENANT DU SILICIUM

N° de brevet: EP1846595 (A1)
Date de publication: 2007-10-24
Inventeur(s): BAUER MATTHIAS [US];ARENA CHANTAL [US];BERTRAM RONALD [US];TOMASINI PIERRE [US];CODY NYLES [US];BRABANT PAUL [US];ITALIANO JOSEPH [US];JACOBSON PAUL [US];WEEKS KEITH DORAN [US];
Demandeur(s): ASM INC [US];
Classification: C30B29/06;C30B25/02;C23C16/24;H01L29/10;H01L21/205;C23C16/448;
N° de demande: EP20060719933 20060131 
Numéro(s) de priorité: WO2006US03333 20060131;US20050649990P 20050204;US20050663434P 20050318;US20050668420P 20050404 
La présente invention concerne un support (20) d'élément d'un circuit intégré utilisable pour monter un boîtier LGA (60) ou un boîtier à billes BGA (70), de manière détachable. Le support découvert présente un siège (21) fixé à la carte à circuit électronique (40), ce siège comportant une partie en creux (22) avec des orifices d'insertion (23) disposés en une matrice de rangées et de colonnes. Chaque orifice d'insertion (23) comporte un ressort (30) conducteur de l'électricité, librement installé à l'intérieur, une de ses extrémités étant connecté électriquement à la carte à circuit électronique (40) alors que l'autre extrémité dépasse librement à l'extérieur de l'orifice d'insertion (23) pour former une borne de raccordement électrique mobile. L'orifice d'insertion (23) du support découvert (20) d'élément de circuit intégré produit de plus un effet d'alignement de la position du boîtier à billes BGA (70), dont le fond porte des billes d'étain (71).

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