L'invention concerne un nanofil composite et un procédé de préparation du nanofil composite comportant un calibre ayant une pluralité de canaux creux, des nanofils formés dans les canaux respectifs du calibre, et un élément fonctionnel constitué en enlevant une partie du calibre de sorte qu'un ou plusieurs des nanofils formés dans la partie du calibre soit exposé. Puisque le nanofil composite peut être préparé d'une façon simple, à bas coûts et peut être miniaturisé, le nanofil composite trouve des applications dans les résonateurs et une variété de sondes.