Procédé de préparation d'un matériau du type III–nitrure sur un substrat en silicium- Brevets EP1842940 (A1)

Procédé de préparation d'un matériau du type III–nitrure sur un substrat en silicium

N° de brevet:	EP1842940 (A1)
Date de publication:	2007-10-10
Inventeur(s):	CHENG KAI [BE];LEYS MAARTEN [NL];DEGROOTE STEFAN [BE];
Demandeur(s):	IMEC INTER UNI MICRO ELECTR [BE];
Classification:	C30B25/02;C30B29/40;C30B29/36;H01L21/36;
N° de demande:	EP20060118018 20060727
Numéro(s) de priorité:	US20060789861P 20060406

L'invention concerne une technologie et des dispositifs de traitement des semi-conducteurs. En particulier, l'invention a trait à un procédé pour réaliser une couche de nitrure du groupe III de haute qualité sur un substrat de silicium et à un dispositif obtenu par le dit procédé.