VAPORISATEUR POUR LA DISTRIBUTION DE GAZ À FAIBLE PRESSION DE VAPEUR
| N° de brevet: |
WO2007109214 (A2) |
| Date de publication: |
2007-09-27 |
| Inventeur(s): |
SPIEGELMAN JEFFREY J [US]; |
| Demandeur(s): |
RASIRC [US];SPIEGELMAN JEFFREY J [US]; |
| Classification: |
F22D1/16; |
| N° de demande: |
WO2007US06775 20070319 |
| Numéro(s) de priorité: |
US20060784382P 20060320 |
L'invention concerne un dispositif de vaporisation servant à réguler, distribuer et purifier des gaz à faible pression de vapeur conjointement à un gaz vecteur, ledit dispositif étant utilisé en micro-électronique et dans d'autres applications critiques.
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