TRANSDUCTEUR A ULTRASONS MICRO–USINE CAPACITIF ET PROCEDE POUR SA FABRICATION
| N° de brevet: |
FR2897051 (A1) |
| Date de publication: |
2007-08-10 |
| Inventeur(s): |
TIAN WEI CHENG;SMITH LOWELL SCOTT;WEI CHING YEU;WODNICKI ROBERT GIDEON;FISHER RAYETTE ANN;MILLS DAVID M;CHU STANLEY CHIENWU;KWON HYON JIN; |
| Demandeur(s): |
GEN ELECTRIC [US]; |
| Classification: |
B81B3/00;A61B8/12; |
| N° de demande: |
FR20070053097 20070206 |
| Numéro(s) de priorité: |
US20060350424 20060209 |
Il est proposé un procédé de fabrication d'une cellule de transducteur à ultrasons micro-usiné capacitif. Le procédé comprend la fourniture d'un substrat porteur (10), où le substrat porteur (10) comprend du verre. L'étape de fourniture du substrat en verre peut comprendre la formation de traversées dans le substrat en verre. En outre, le procédé comprend la fourniture d'une membrane (14) de telle manière qu'au moins un du substrat porteur (10) et de la membrane (14) comprend des montants de support (12), les montants de support (12) étant configurés pour définir une profondeur de cavité (13). Le procédé comprend en outre l'assemblage de la membrane au substrat porteur par utilisation des montants de support, où le substrat porteur, la membrane et les montants de support (12) forment une cavité acoustique.
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