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COMPOSANT MICROMECANIQUE ET SON PROCEDE DE FABRICATION
Composant micromécanique ayant un substrat (1), un premier dispositif d'électrodes rigides (3b1, 3b2, 3b3, 3b4), installé sur ou dans le substrat (1), un second dispositif d'électrodes (5b0, 5b1, 5b2, 5b3, 5b4 5b0', 5b1', 5b2', 5b3', 5b4') suspendu au substrat (1), un espace intermédiaire (15) entre le premier dispositif d'électrodes (3b1, 3b2, 3b3, 3b4) et le second dispositif d'électrodes (5b0, 5b1, 5b2, 5b3, 5b4, 5b0', 5b1', 5b2', 5b3', 5b4'). Le second dispositif d'électrodes (5b0, 5b1, 5b2, 5b3, 5b4 ; 5b0', 5b1', 5b2', 5b3', 5b4') est installé de manière à fléchir élastiquement par rapport au premier dispositif d'électrodes (3b1, 3b2, 3b3, 3b4) sur le substrat (1) pour que la capacité du condensateur formé par le premier dispositif d'électrodes (3b1, 3b2, 3b3, 3b4), le second dispositif d'électrodes (5b0, 5b1, 5b2, 5b3, 5b4 ; 5b0', 5b1', 5b2', 5b3', 5b4') et l'espace intermédiaire (15) soit variable.
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