La présente invention concerne un capteur MEMS monté sur une puce de base ayant un mode de fonctionnement capacitif et présentant un système de couches structuré appliqué sur la puce de base. Dans le système de couches est produite ouverture dans laquelle est disposée l'électrode mobile, par exemple une membrane. L'ouverture est recouverte d'une couche de recouvrement qui est appliquée sur le système de couches autour de l'ouverture, et comprend l'électrode arrière.