PROCÉDÉ D'OBTENTION DE STRUCTURES POLYMÈRES MICROFLUIDIQUES
| N° de brevet: |
WO2007080206 (A1) |
| Date de publication: |
2007-07-19 |
| Inventeur(s): |
BLANCO BARRO FRANCISCO JAVIER [ES];ELIZALDE GARCIA JORGE [ES];RUANO LOPEZ JESUS MIGUEL [ES]; |
| Demandeur(s): |
IKERLAN CT DE INVESTIGACIONES [ES];BLANCO BARRO FRANCISCO JAVIER [ES];ELIZALDE GARCIA JORGE [ES];RUANO LOPEZ JESUS MIGUEL [ES]; |
| Classification: |
B81C1/00;B81C3/00;G03F7/11;G03F7/26;G03F7/30; |
| N° de demande: |
WO2007ES00011 20070112 |
| Numéro(s) de priorité: |
ES20060000071 20060112 |
L'invention concerne un procédé de fabrication de structures microfluidiques de haute résolution par modification de la température de scellage et de photolithographie.
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