PROCESSUS DE FORMATION D'UN MICROPHONE À L'AIDE D'UN ÉLÉMENT SUPPORT

N° de brevet: WO2007078989 (A2)
Date de publication: 2007-07-12
Inventeur(s): WEIGOLD JASON W [US];
Demandeur(s): ANALOG DEVICES INC [US];WEIGOLD JASON W [US];
Classification: B81C1/00;
N° de demande: WO2006US48788 20061221 
Numéro(s) de priorité: US20050754984P 20051229;US20060613003 20061219 
Procédé de formation d'un microphone selon lequel on forme un socle, et une membrane flexible sur au moins une partie d'une couche sacrificielle amovible par corrosion humide. Selon le procédé on ajoute un matériau résistant à la corrosion humide, une partie du matériau résistant à la corrosion humide étant positionnée entre le diaphragme et le socle pour supporter le diaphragme. Une autre partie du matériau résistant à la corrosion humide n'est pas positionnée entre le diaphragme et le socle. Selon le procédé on retire ensuite le matériau sacrificiel avant de retirer le matériau résistant à la corrosion humide ajouté pendant l'étape d'addition indiquée précédemment. Le matériau résistant à la corrosion humide est ensuite retiré sensiblement dans son intégralité après avoir retiré au moins une partie du matériau sacrificiel.

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