L'invention concerne un appareil et un procédé destinés à améliorer le nettoyage à sec d'une enceinte d'un système PECVD. L'appareil comprend un collecteur à gaz annulaire pourvu de sorties multiples destinées à introduire un gaz de nettoyage dans l'enceinte de process, et le procédé comprend l'utilisation du collecteur à gaz pour introduire dans l'enceinte de process une espèce de nettoyage provenant d'une source de plasma distante.