SYSTEME MICRO–ELECTROMECANIQUE COMPRENANT UNE PARTIE DEFORMABLE ET UN DETECTEUR DE CONTRAINTE

N° de brevet: FR2894953 (A1)
Date de publication: 2007-06-22
Inventeur(s): ROWE ALISTAIR;RENNER CHRISTOPH;ARSCOTT STEVE;
Demandeur(s): ECOLE POLYTECHNIQUE ETABLISSEM [FR];
Classification: B81B3/00;
N° de demande: FR20050012740 20051215 
Numéro(s) de priorité: FR20050012740 20051215 
Un système micro-électromécanique comprend une partie déformable (1) et au moins un détecteur de contrainte (10) solidaire de la partie déformable. Le détecteur comprend lui-même une portion de base (2) et une portion de shunt (3) juxtaposées sur la partie déformable (1), et des connexions (4a-4d) agencées pour détecter une modification d'une répartition d'un courant électrique dans les portions de base et de shunt. Des matériaux des portions de base (2) et de shunt (3) sont en outre choisis de sorte qu'une résistance de contact entre lesdites portions varie en fonction d'une déformation. Un tel système est adapté pour de nombreuses applications, en particulier pour former une partie d'un bras de microscope à force atomique ou pour entrer dans la constitution d'un biodétecteur.

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