COMPOSANT MICRO–ÉLECTROMÉCANIQUE

N° de brevet: WO2007060838 (A1)
Date de publication: 2007-05-31
Inventeur(s): TANAKA MASAHIRO [JP];KINOSHITA TAKASHI [JP];YAMASHITA KEITARO [JP];
Demandeur(s): SONY CORP [JP];TANAKA MASAHIRO [JP];KINOSHITA TAKASHI [JP];YAMASHITA KEITARO [JP];
Classification: B81B3/00;H02N13/00;H03H9/24;H03H9/46;
N° de demande: WO2006JP322274 20061108 
Numéro(s) de priorité: JP20050342518 20051128 
L'invention concerne un composant micro-électromécanique, un signal électrique dans la bande des hautes fréquences étant traité par une structure élémentaire simple. Le composant micro-électromécanique est composé d'un élément oscillateur comportant une pluralité d'électrodes sur un substrat et d'un faisceau qui fait face aux électrodes et qui oscille grâce à un dispositif d'attaque électrostatique. Un signal à haute fréquence est reçu en entrée et fourni en sortie vers et depuis l'une des combinaisons des électrodes et du faisceau.

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