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COMPOSANT MICRO–ÉLECTROMÉCANIQUE
L'invention concerne un composant micro-électromécanique, un signal électrique dans la bande des hautes fréquences étant traité par une structure élémentaire simple. Le composant micro-électromécanique est composé d'un élément oscillateur comportant une pluralité d'électrodes sur un substrat et d'un faisceau qui fait face aux électrodes et qui oscille grâce à un dispositif d'attaque électrostatique. Un signal à haute fréquence est reçu en entrée et fourni en sortie vers et depuis l'une des combinaisons des électrodes et du faisceau.
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