PROCEDE DE FORMATION DE SUPPORTS PRESENTANT DES MOTIFS, TELS QUE DES MASQUES DE LITHOGRAPHIE.

N° de brevet: FR2893018 (A1)
Date de publication: 2007-05-11
Inventeur(s): LANDIS STEPHAN;GOUY JEAN PHILIPPE;
Demandeur(s): COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE [FR];
Classification: B81C1/00;G03F1/14;G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027;
N° de demande: FR20050011401 20051109 
Numéro(s) de priorité: FR20050011401 20051109 
Pour fabriquer un support en un matériau prédéterminé et présentant des motifs :* on réalise, sur un substrat que l'on sait éliminer, une pluralité de couches superposées (1 à 4), chacune des couches étant formée de zones en matériaux différents, la géométrie des zones et les matériaux constitutifs de ces couches superposées étant définis en sorte de former lesdits motifs, à l'envers sur le substrat,* on réalise sur cet empilement de couches une couche du matériau prédéterminé, et* on élimine au moins le substrat, grâce à quoi on obtient, après retournement, ledit support avec lesdits motifs.

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