PLAQUE A MICROBUSES ET PROCEDE DE FABRICATION D'UNE TELLE PLAQUE.- Brevets FR2892715 (A1)

PLAQUE A MICROBUSES ET PROCEDE DE FABRICATION D'UNE TELLE PLAQUE.

N° de brevet:	FR2892715 (A1)
Date de publication:	2007-05-04
Inventeur(s):	FUERTSCH MATTHIAS;FINKBEINER STEFAN;SCHELLING CHRISTOPH;WEISS STEFAN;WAGNER THOMAS;MAEURER CHRISTIAN;BREIBACH INES;
Demandeur(s):	ROBERT BOSCH GMBH GES MIT BESC [DE];
Classification:	B81C1/00;B81B1/00;B05B17/00;B05B1/22;
N° de demande:	FR20060054432 20061023
Numéro(s) de priorité:	DE200510050782 20051024

Procédé de fabrication d'une plaque à microbuses, caractérisé pour les étapes suivantes :A) application d'un premier masque (110) sur une première face d'un substrat semi-conducteur (100),B) application d'un second masque (120) sur le premier masque (110) et le substrat semi-conducteur (100),C) gravure de tranchée (200) dans le substrat semi-conducteur (100) à travers le second masque (120) jusqu'à une certaine profondeur,D) enlèvement (300) du second masque (120),E) oxydation thermique (350) du substrat semi-conducteur (100) à travers le premier masque (110) et formation d'un oxyde thermique (352) sur la première face,F) enlèvement du premier masque (110) du substrat semi-conducteur (100),G) gravure (400) du substrat semi-conducteur (100) de la première face jusqu'à une seconde face, opposée et dégagement ainsi de microbuses (420) dans l'oxyde thermique (352).