Transducteur ultrasonore capacitif et procéde pour sa fabrication
| N° de brevet: |
EP1790419 (A2) |
| Date de publication: |
2007-05-30 |
| Inventeur(s): |
CHANG MING-WEI [TW];DENG TSE-MIN [TW];GWO TSUNG-JU [TW];CHUNG ZHEN-YUAN [TW]; |
| Demandeur(s): |
IND TECH RES INST [TW]; |
| Classification: |
B06B1/02;G01H11/04; |
| N° de demande: |
EP20060013590 20060630 |
| Numéro(s) de priorité: |
CN20051123960 20051124 |
La présente invention concerne un transducteur à ultrasons capacitif (30) composé d'une première électrode (31), d'une couche isolante (32) couvrant la première électrode, d'au moins une structure support (38) formée sur la couche isolante et d'une seconde électrode (35) placée à distance de la première électrode, la première et la seconde électrode définissant une zone d'oscillation efficace du transducteur à ultrasons capacitif, et la longueur respective de la première et de la seconde électrode définissant la zone d'oscillation efficace étant en grande partie équivalente.
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