Excitation dans des dispositifs micromécaniques.

N° de brevet: EP1783095 (A1)
Date de publication: 2007-05-09
Inventeur(s): WESTBY ESKILD R [NO];
Demandeur(s): INFINEON TECHNOLOGIES SENSONOR [NO];
Classification: B81B3/00;G01C19/56;G01P15/14;
N° de demande: EP20050256843 20051104 
Numéro(s) de priorité: EP20050256843 20051104 
La présente invention concerne une structure résonante destinée à un dispositif micromécanique. La structure résonante comprend une poutre et au moins une masse fixée à la poutre. La structure résonante permet de disposer d'un mode d'excitation en grande partie rotationnel et d'un plan d'excitation sur lequel le mouvement de la structure résonante excitée a lieu en grande partie lors de l'utilisation, au moins la masse ayant une géométrie telle qu'aucun des axes principaux du tenseur d'inertie rotationnel de la structure résonante n'est normal par rapport au plan d'excitation.

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