Excitation dans des dispositifs micromécaniques.
| N° de brevet: |
EP1783094 (A1) |
| Date de publication: |
2007-05-09 |
| Inventeur(s): |
WESTBY ESKILD R [NO]; |
| Demandeur(s): |
INFINEON TECHNOLOGIES SENSONOR [NO]; |
| Classification: |
B81B3/00;G01C19/56;G01P15/14; |
| N° de demande: |
EP20050256842 20051104 |
| Numéro(s) de priorité: |
EP20050256842 20051104 |
La présente invention concerne une structure résonante destinée à un dispositif micromécanique. La structure résonante comprend une poutre constituée de silicium cristallisé et au moins une masse fixée à la poutre. La structure résonante dispose d'un plan d'excitation sur lequel le mouvement de la structure résonante excitée a lieu en grande partie lors de l'utilisation et la poutre dispose d'axes en cristal alignés de telle sorte qu'aucun des axes en cristal ne soit parallèle à la longueur de la poutre et/ou qu'aucun des axes en cristal ne soit normal par rapport au plan d'excitation.
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