Excitation dans des dispositifs micromécaniques.

N° de brevet: EP1783094 (A1)
Date de publication: 2007-05-09
Inventeur(s): WESTBY ESKILD R [NO];
Demandeur(s): INFINEON TECHNOLOGIES SENSONOR [NO];
Classification: B81B3/00;G01C19/56;G01P15/14;
N° de demande: EP20050256842 20051104 
Numéro(s) de priorité: EP20050256842 20051104 
La présente invention concerne une structure résonante destinée à un dispositif micromécanique. La structure résonante comprend une poutre constituée de silicium cristallisé et au moins une masse fixée à la poutre. La structure résonante dispose d'un plan d'excitation sur lequel le mouvement de la structure résonante excitée a lieu en grande partie lors de l'utilisation et la poutre dispose d'axes en cristal alignés de telle sorte qu'aucun des axes en cristal ne soit parallèle à la longueur de la poutre et/ou qu'aucun des axes en cristal ne soit normal par rapport au plan d'excitation.

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