Un substrat (102) définissant une cavité comportant une première partie large, peu profonde (104) et une deuxième partie étroite profonde (103) est proposé. La première partie de la cavité s'étend à l'intérieur du substrat à partir de la partie antérieure du substrat et est remplie de matériel sacrificiel (105). La deuxième partie s'étend plus profondément dans le substrat à partir de la première partie. Une structure de dispositif (110) est fabriquée sur le matériel sacrificiel. Un agent de gravure de dégagement est présenté à l'arrière du substrat via la deuxième partie de la cavité de manière à enlever de la première partie de la cavité le matériel sacrificiel sous-jacent à la structure de dispositif. Ainsi, la gravure de dégagement peut être exécutée de ce fait sans exposer la structure de dispositif à l'agent de gravure. Ceci permet à la structure de dispositif d'incorporer des matériaux ayant une faible sélectivité de gravure en rapport au matériel sacrificiel.