Capteur de déplacement avec élément de protection contre déplacement excessif

N° de brevet: EP1764617 (A1)
Date de publication: 2007-03-21
Inventeur(s): TAKADA YOSHIAKI [JP];OCHIAI HIDEYUKI [JP];NISHINO KEIICHI [JP];SAITOH MASAKATSU [JP];
Demandeur(s): HITACHI METALS LTD [JP];
Classification: B81B7/00;G01L19/06;G01P1/02;G01P15/08;
N° de demande: EP20060018110 20060830 
Numéro(s) de priorité: JP20050270434 20050916 
L'invention concerne un dispositif de détection de déplacement, p. ex dans un accéléromètre ou dans un capteur de pression ayant une puce IC (24) agissant comme plaque de régulation évitant un déplacement excessif d'un élément mobile, des pièces cassées en silicium pouvant tomber de puces pendant l'assemblage ou en utilisant le dispositif, et affectant les propriétés du dispositif de détection de déplacement. En établissant un angle de tracés de meulage sur la tranche de la puce IC (24) avec une ligne verticale sur les bords latéraux de la puce IC, a une valeur inférieure à 45degrés, de préférence entre 10 et 45degrés, les pertes peuvent être réduites sur les bords latéraux de la puce IC (24). Les bords latéraux ayant des traces de meulage avec des angles hors de la gamme sont fixés par un adhésif de sorte que les pertes par cassure n'apparaissent pas dans la puce IC. En utilisant une telle puce IC en tant que plaque de régulation, une plaque de régulation spécifique peut être évitée, et un dispositif de détection de déplacement de haute fiabilité peut être obtenu.

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