Dispositif MEMS comprenant des bosses d'écartement et composant plié
| N° de brevet: |
EP1760746 (A2) |
| Date de publication: |
2007-03-07 |
| Inventeur(s): |
DEREUS DANA R [US]; |
| Demandeur(s): |
WISPRY INC [US]; |
| Classification: |
B81B3/00;H01H59/00;B81B7/00;H01H61/04;H01L23/373;H01L23/522;H01L29/86;H02N1/00;H02N10/00; |
| N° de demande: |
EP20060126734 20021108 |
| Numéro(s) de priorité: |
EP20020793903 20021108;US20010337527P 20011109;US20010337528P 20011109;US20010337529P 20011109;US20010338055P 20011109;US20010338069P 20011109;US20010338072P 20011109 |
Selon un mode de réalisation, un composant MEMS mobile suspendu au-dessus d'un substrat est fourni. Le composant peut inclure une couche structurelle ayant une électrode mobile séparée d'un substrat par un espace. Le composant peut également inclure au moins une bosse d'entretoise attachée à la couche structurelle et se prolongeant dans l'espace pour empêcher le contact de l'électrode mobile avec le matériau conducteur lorsque le composant se déplace. La couche structurelle est pliée.
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