Procédé pour la production d'un monocristal semiconductor dopé, et III–V monocristal semiconductor.

N° de brevet: EP1739210 (A1)
Date de publication: 2007-01-03
Inventeur(s): KRETZER ULRICH [DE];EICHLER STEFAN DR [DE];BUENGER THOMAS [DE];
Demandeur(s): FREIBERGER COMPOUND MAT GMBH [DE];
Classification: C30B11/00;C30B29/40;C30B29/42;
N° de demande: EP20060011540 20060602 
Numéro(s) de priorité: DE200510030853 20050701;US20050697860P 20050708 
L'invention décrit un procédé de fabrication d'un monocristal semi-conducteur dopé avec un produit dopant, en particulier avec une conductivité électrique élevée par solidification d'une coulée de semi-conducteur dans un creuset, au moyen d'un germe cristallin du même matériaux de semi-conducteur que le monocristal semi-conducteur à fabriquer. La quantité de produit dopant (7) qui est nécessaire au réglage d'une conductivité électrique souhaitée dans le monocristal semi-conducteur (11), sera apportée (a) en premier après accroissement du monocristal semi-conducteur (11) formé à partir du germe cristallin (5), (b) ou seulement après la fin de la solidification du monocristal semi-conducteur (11) dans le secteur (3) conique du creuset (1) dans la coulée de semi-conducteur (9), ou en partie déjà d'abord et apporté comme reste conformément à (a) ou (b). Le procédé convient particulièrement, pour un monocristal semi- conducteur III-V, en particulier -tranche de silicium avec une conductivité élevée, par exemple de type n ou p et surtout de type n, tandis que la concentration d'un polluant présent dans ce type de procédé est limitée. Il est ainsi possible d'obtenir une conductivité électrique d'au moins 250 Siemens/cm et/ou une résistance électrique spécifique au maximum de 4 10-3 ohmcm , tandis que le risque de défauts dans le cristal est réduit. En outre il est possible avec un monocristal semi-conducteur III-V en particulier -tranche de silicium avec un grand diamètre, p. ex. d'au moins 100 mm, d'obtenir une amélioration significative de la valeur de mobilité Hall vis-à-vis de la concentration du porteur de charge par rapport à la technique traditionnelle. .



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