TRAITEMENT MICRO–MECANIQUE DE SURFACE POUR TRANSDUCTEURS ULTRA–ACOUSTIQUES CAPACITIF MICRO–USINES, ET TRANSDUCTEUR AINSI REALISE
| N° de brevet: |
WO2006092820 (A2) |
| Date de publication: |
2006-09-08 |
| Inventeur(s): |
CALIANO GIOSUE [IT];CARONTI ALESSANDRO [IT];PAPPALARDO MASSIMO [IT];CIANCI ELENA [IT];FOGLIETTI VITTORIO [IT];MINOTTI ANTONIO [IT];NENCIONI ALESSANDRO [IT]; |
| Demandeur(s): |
CONSIGLIO NAZIONALE RICERCHE [IT];UNI DEGLI STUDI ROMA TRE [IT];ESAOTE SPA [IT];CALIANO GIOSUE [IT];CARONTI ALESSANDRO [IT];PAPPALARDO MASSIMO [IT];CIANCI ELENA [IT];FOGLIETTI VITTORIO [IT];MINOTTI ANTONIO [IT];NENCIONI ALESSANDRO [IT]; |
| Classification: |
B06B1/00;B81B3/00; |
| N° de demande: |
WO2006IT00126 20060302 |
| Numéro(s) de priorité: |
IT2005RM00093 20050304 |
La présente invention concerne un traitement de fabrication, et le transducteur ultra-acoustique capacitif micro-usiné correspondant, utilisant une plaquette de silicium du commerce (8) déjà couverte sur l'une au moins de ses faces d'une couche supérieure (9) et d'une couche inférieure (9') de nitrure de silicium appliquée par dépôt de vapeur chimique basse pression. L'une de ces deux couches (9, 9') de nitrure de silicium, de qualité optimale, recouvrant le plaquette (8) sert de membrane émettrice du transducteur. Cela permet de faire croître le réseau de micro-cellules (6) du transducteur sur l'une des deux couches de nitrure de silicium, en l'occurrence, sur la face postérieure du transducteur, avec une suite d'opérations qui est l'inverse de celle de la technique classique.
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