En mesurant, pour un matériau en verre à expansion ultra faible, la dépendance de fréquence des vitesses acoustiques et coefficients d'atténuation des ondes de volume (ondes longitudinales et ondes de cisaillement), et la densité, on détermine des propriétés acoustiques fondamentales, et un échantillon standard utilisable dans un système d'étalonnage est préparé. Par un procédé d'étalonnage absolu utilisant l'échantillon standard, on obtient des valeurs absolues pour les vitesses LSAW et LSSCW. De plus, on obtient des relations pour les propriétés acoustiques et le coefficient de dilatation thermique pour évaluer le coefficient de dilatation thermique à partir des propriétés acoustiques. Dans le cas où il existe une distribution des caractéristiques due à des stries périodiques, on peut constater une distribution des propriétés acoustiques dans le substrat et on peut en effectuer une évaluation en sélectionnant pour le substrat un angle de coupe par rapport au plan des stries.