STRUCTURE DE POINTE POUR DISPOSITIFS DE BALAYAGE, PROCEDE PERMETTANT DE PRODUIRE CETTE STRUCTURE ET DISPOSITIFS COMPRENANT CETTE STRUCTURE
| N° de brevet: |
WO2005119697 (A1) |
| Date de publication: |
2005-12-15 |
| Inventeur(s): |
GIVARGIZOV MICHAIL EVGEN EVICH [RU];GIVARGIZOV EVGENY INVIEVICH [RU]; |
| Demandeur(s): |
GIVARGIZOV MICHAIL EVGEN EVICH [RU];GIVARGIZOV EVGENY INVIEVICH [RU]; |
| Classification: |
B82B1/00;G01N13/14;G12B21/06; |
| N° de demande: |
WO2005RU00291 20050530 |
| Numéro(s) de priorité: |
RU20040116249 20040531;RU20040122785 20040727 |
L'invention porte sur modèle de sonde, et sur un instrument comportant cette sonde, permettant de résoudre certains problèmes de la microscopie photonique en champ proche et de la microscopie infrarouge en champ proche. L'invention concerne également un nouveau procédé de production permettant de réduire considérablement le coût de production final, et d'augmenter ainsi le nombre d'utilisateurs potentiel de cette sonde et de cet instrument. Le modèle de sonde décrit, et l'instrument équipé de ces sondes permettent l'enregistrement optique et la lecture d'informations, ainsi que l'exécution de travaux de lithographie, en particuliers des travaux comprenant l'exposition d'une photorésine, avec une résolution nanométrique.
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