Il s'agit d'un microscope en champ proche comprenant une source d'ondes (20), un résonateur diélectrique (50), une sonde (60), une unité d'ajustement de distance et un détecteur (30). Le résonateur diélectrique (50) propage l'onde à partir de la source d'ondes, et une fréquence de résonance, une impédance, un facteur Q et un mode d'onde électromagnétique de l'onde sont librement ajustables. La sonde balaie l'onde sortie du résonateur diélectrique (50) sur un échantillon (80). L'unité d'ajustement de distance mesure une distance entre la sonde et l'échantillon (80) et maintient la distance à une valeur prédéterminée. Le détecteur détecte une onde qui se propage à travers la sonde, interagit avec l'échantillon (80), puis se propage à travers la sonde et le résonateur diélectrique (50).