PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT D'ACCROITRE LES SEUILS DE FISSURATION ET LES PROPRIETES MECANIQUES D'UNE MATIERE DIELECTRIQUE A FAIBLE PERMITTIVITE K

N° de brevet: EP1599898 (A2)
Date de publication: 2005-11-30
Inventeur(s): LI LIHUA [US];HUANG TZU-FANG [US];ROCHA-ALVAREZ JUAN C [US];XIA LI-QUN [US];
Demandeur(s): APPLIED MATERIALS INC [US];
Classification: C23C16/30;C23C16/56;H01L21/316;H01L21/768;
N° de demande: EP20040701530 20040112 
Numéro(s) de priorité: WO2004US00797 20040112;US20030342085 20030113 
Un pont thermique (1) pour transmettre la chaleur produite par par des interrupteurs à semi-conducteur de circuits de commande (3) destiné à être appliqué contre des éléments radiants fluides (4) est décrit et comprend: un chauffage (5) formé d'un corps tubulaire (5A) inséré dans le corps d'un élément radiant (4) et ayant en interne une résistance électrique connectée à une alimentation; un manchon tubulaire (6) arrangée à une extrémité du corps tubulaire (5A) et fourni avec des moyens de fixations (7) à l'élément radiant (4); un boîtier (10) contenant le circuit de commande (3) avec l'interrupteur à semi-conducteur (2) et disposé avec un trou traversant (9) pour l'insertion dans une portion d'extrémité (8) du manchon tubulaire (6) s'étendant à partir de l'élément radiant (4). Le pont thermique (1) consiste en un corps collecteur (12) fait d'un matériau conducteur de la chaleur et arrangé à l'intérieur du boitier (10) où il est en contact avec l'interrupteur à semi-conducteur (2) et avec la portion d'extrémité (8) du manchon (6).

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