L'invention concerne un polymère fluoré utile en tant que matériau pelliculaire ou analogue, présentant une durabilité et une transparence élevée à la lumière à faible longueur d'onde (laser excimer ArF présentant une longueur d'onde d'oscillations de 193 nm, ou laser excimer F2 présentant une longueur d'onde d'oscillations de 157 nm). L'invention concerne en outre une pellicule dont la structure de pellicule et/ou l'adhésif associé sont composées d'un polymère (I) présentant sensiblement le motif (1) suivant. Ce motif (1) se compose d'une chaîne fluorée qui forme la chaîne principale du polymère, constituée d'atomes de carbone et d'atomes d'oxygène d'éthers, au moins un des atomes de carbone formant la chaîne principale étant un atome formant un groupe cyclique, et au moins un atome d'oxygène éther de la chaîne principale étant un atome ne faisant pas partie d'un groupe cyclique. Le motif (1) peut être par exemple un motif représenté par la formule (A1) suivante: (A1) (dans laquelle n représente 1 ou 2, R<F1 >représente F ou CF3, et R F2 représente F ou un perfluoroalkyle C1-C5).