DISPOSITIF ET PROCEDE SERVANT A INSPECTER UN CORPS ETRANGER ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
| N° de brevet: |
WO2005052687 (A1) |
| Date de publication: |
2005-06-09 |
| Inventeur(s): |
MAGOME NOBUTAKA [JP];MIZUTANI HIDEO [JP]; |
| Demandeur(s): |
NIPPON KOGAKU KK [JP];MAGOME NOBUTAKA [JP];MIZUTANI HIDEO [JP]; |
| Classification: |
G01N21/94;G01N21/956; |
| N° de demande: |
WO2004JP17390 20041124 |
| Numéro(s) de priorité: |
JP20030393513 20031125 |
Dispositif permettant de détecter avec précision un corps étranger adhérant à une surface (2a) et à l'inspecter au moyen d'un élément d'essai (2). Ce dispositif possède un élément d'éclairage servant à éclairer la surface (2a) à inspecter par de la lumière s'étendant (3) dans un sens Y et un photodétecteur pourvu d'éléments optiques (6a-6c) afin d'observer la zone d'éclairage, et d'éléments de photodétection (7). L'angle d'observation theta entre le sens d'observation par le photodétecteur de la zone d'inspection et la perpendiculaire à la surface (2a) à inspecter est défini dans une plage de 13,9°-79,5°.
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