DISPOSITIF ET PROCEDE SERVANT A INSPECTER UN CORPS ETRANGER ET DISPOSITIF D'EXPOSITION

N° de brevet: WO2005052687 (A1)
Date de publication: 2005-06-09
Inventeur(s): MAGOME NOBUTAKA [JP];MIZUTANI HIDEO [JP];
Demandeur(s): NIPPON KOGAKU KK [JP];MAGOME NOBUTAKA [JP];MIZUTANI HIDEO [JP];
Classification: G01N21/94;G01N21/956;
N° de demande: WO2004JP17390 20041124 
Numéro(s) de priorité: JP20030393513 20031125 
Dispositif permettant de détecter avec précision un corps étranger adhérant à une surface (2a) et à l'inspecter au moyen d'un élément d'essai (2). Ce dispositif possède un élément d'éclairage servant à éclairer la surface (2a) à inspecter par de la lumière s'étendant (3) dans un sens Y et un photodétecteur pourvu d'éléments optiques (6a-6c) afin d'observer la zone d'éclairage, et d'éléments de photodétection (7). L'angle d'observation theta entre le sens d'observation par le photodétecteur de la zone d'inspection et la perpendiculaire à la surface (2a) à inspecter est défini dans une plage de 13,9°-79,5°.

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