ACCELEROMETRE A DETECTION CAPACITIVE ET REEQUILIBRAGE ELECTROSTATIQUE PRESENTANT UN AMORTISSEMENT GAZEUX EGALISE

N° de brevet: WO2005052602 (A1)
Date de publication: 2005-06-09
Inventeur(s): ESKRIDGE MARK H [US];MALAMETZ DAVID L [US];
Demandeur(s): HONEYWELL INT INC [US];ESKRIDGE MARK H [US];MALAMETZ DAVID L [US];
Classification: G01P15/08;G01P15/125;
N° de demande: WO2004US38864 20041119 
Numéro(s) de priorité: US20030718974 20031120 
L'invention concerne un dispositif de détection d'accélération à système micro-électromécanique (MEMS) comprenant un élément de détection allongé d'épaisseur sensiblement uniforme suspendu en vue d'un mouvement par rapport à un décalage d'axe de rotation entre des première et seconde extrémités correspondantes de sorte qu'une première partie de l'élément de détection entre l'axe de rotation et la première extrémité soit plus longue qu'une seconde partie entre l'axe de rotation et la seconde extrémité. Le dispositif comprend également un substrat de silicium fixe espacé de l'élément de détection, un condensateur formé par une surface du substrat et chacune des première et seconde parties de l'élément de détection, ainsi qu'un évidement formé dans la surface du substrat à l'opposé de la première partie plus longue de l'élément de détection et espacé de l'axe de rotation selon une distance sensiblement identique à la distance entre l'axe de rotation et la seconde extrémité de l'élément de détection.

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