CROISSANCE ORGANISEE DE NANO–STRUCTURES- Brevets FR2864109 (A1)

CROISSANCE ORGANISEE DE NANO–STRUCTURES

N° de brevet:	FR2864109 (A1)
Date de publication:	2005-06-24
Inventeur(s):	MAZEN FREDERIC;BARON THIERRY;DECOSSAS SEBASTIEN;SOUIFI ABDELKADER;
Demandeur(s):	COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE [FR];
Classification:	B82B3/00;C23C16/02;C23C16/04;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/265;
N° de demande:	FR20030051186 20031223
Numéro(s) de priorité:	FR20030051186 20031223

L'invention concerne un procédé de formation de nano-structures comportant :- la formation de sites (4) de nucléation par irradiation d'un substrat à l'aide d'un faisceau d'ions,- la croissance de nano-structures (8) sur les sites de nucléation ainsi formés.