La présente invention concerne un procédé de fabrication d'au moins une cavité dans un matériau (1) présentant une structure cristallographique hexagonale ou cubique, notamment un carbure et/ou un matériau comportant du silicium, comportant les étapes suivantes :- former dans le matériau (1) au moins une amorce (2) de gravure en au moins un site prédéterminé (3),- graver la cavité à partir de l'amorce (2) formée précédemment en exposant le matériau à un environnement réducteur.