INSTALLATION DE SÉPARATION DE GAZ

N° de brevet: WO2005009595 (A1)
Date de publication: 2005-02-03
Inventeur(s): TAJIMA YOSHINORI [JP];FUTATSUKI TAKASHI [JP];ABE TETSUYA [JP];TANZAWA SADAMITSU [JP];HIROKI SEIJI [JP];
Demandeur(s): ORGANO CORP [JP];TAJIMA YOSHINORI [JP];FUTATSUKI TAKASHI [JP];ABE TETSUYA [JP];TANZAWA SADAMITSU [JP];HIROKI SEIJI [JP];
Classification: B01D53/02;B01D53/68;B01D53/70;H01L21/205;H01L21/3065;
N° de demande: WO2004JP07616 20040602 
Numéro(s) de priorité: JP20030282062 20030729 
L'invention concerne une installation pour séparer un gaz d'échappement comprenant un gaz PFC contenant du CF4 et du C2F6 générés dans un processus de production. Cette installation comporte un dispositif de concentration pour concentrer le gaz d'échappement et un dispositif de séparation chromatographique pour séparer le gaz d'échappement par chromatographie au moyen d'azote comme gaz porteur, le dispositif de séparation chromatographique étant conditionné avec un sas moléculaire 13X, F-9 ou analogue. Ladite installation peut servir de manière efficace pour séparer le CF4 et le C2F6 dans un gaz PFC.

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