PELLICULE DE CRISTAUX DE ZNO COLUMNAIRES HAUTE DENSITE ET PROCEDE DE FABRICATION

N° de brevet: WO2004088005 (A1)
Date de publication: 2004-10-14
Inventeur(s): HIRANO SHINGO [JP];KUWAHARA MAKOTO [JP];
Demandeur(s): JAPAN SCIENCE &;TECH AGENCY [JP];HIRANO SHINGO [JP];KUWAHARA MAKOTO [JP];
Classification: B82B1/00;B82B3/00;C01G9/02;C30B7/00;C30B29/16;
N° de demande: WO2004JP03903 20040323 
Numéro(s) de priorité: JP20030096286 20030331;JP20030355400 20031015 
Jusque-là, il était difficile d'obtenir des cristaux haute densité avec une orientation élevée par précipitation de cristaux de ZnO sur une surface de substrat au moyen d'un procédé de précipitation d'une solution aqueuse. Par conséquent, les cristaux ainsi obtenus sont peu adaptés à des dispositifs nécessitant un haut niveau de qualité. L'invention vise à fabriquer des cristaux de ZnO adaptés à de tels dispositifs, c.-à-d. mettre en oeuvre une pellicule de cristaux columnaires haute densité présentant un axe (c) perpendiculaire uniformément orienté sur au moins 90 % du substrat, par simple formation à partir d'une solution aqueuse contenant des ions zinc. A cet effet, on régule la concentration en ions zinc d'une solution aqueuse contenant des ions zinc à un niveau prédéfini, c.-à-d. une concentration relativement élevée de 0,07 à 0,3 mol/l, et on immerge le substrat dans une solution aqueuse. Les cristaux ainsi formés peuvent être employés dans diverses applications.

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