SYSTEME ET PROCEDE POUR COMMANDER ET SURVEILLER UN DISPOSITIF DE DISTRIBUTION D'ENERGIE LOCALE
| N° de brevet: |
EP1468370 (A1) |
| Date de publication: |
2004-10-20 |
| Inventeur(s): |
HART DAVID G [US];UY DAVID [US];LAPLACE CARL J [US];EGOLF WILLIAM M [US]; |
| Demandeur(s): |
ABB INC [US]; |
| Classification: |
H02J13/00; |
| N° de demande: |
EP20020806217 20021220 |
| Numéro(s) de priorité: |
WO2002US41343 20021220;US20010034811 20011226 |
Un appareil de mesure du flux gazeux mesure le flux de gaz émis à partir d'une source de lumière EUV dans une chambre source de lumière qui supporte une source de lumière EUV, et comprend un absorbeur qui reçoit la lumière émise depuis la source de lumière EUV introduite dans l'appareil de mesure du flux gazeux.
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