SYSTEME ET PROCEDE DE COMMANDE COORDONNEE D'UN CONDENSATEUR DE PUISSANCE COMMUTE DOTE D'UN SYSTEME ANTIRESONANCE INTEGRE
| N° de brevet: |
EP1468345 (A2) |
| Date de publication: |
2004-10-20 |
| Inventeur(s): |
HU YI [US];DI MAIO LUCIANO [IT];GATELLI FABIO [IT];EGOLF WILLIAM M [US];HART DAVID G [US]; |
| Demandeur(s): |
ABB TECHNOLOGY AG [CH]; |
| Classification: |
H02M1/12; |
| N° de demande: |
EP20020806214 20021220 |
| Numéro(s) de priorité: |
WO2002US41297 20021220;US20010034063 20011226 |
Un appareil de mesure du flux gazeux mesure le flux de gaz émis à partir d'une source de lumière EUV dans une chambre source de lumière qui supporte une source de lumière EUV, et comprend un absorbeur qui reçoit la lumière émise depuis la source de lumière EUV introduite dans l'appareil de mesure du flux gazeux.
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