CHAUFFAGE D'EAU D'ALIMENTATION
| N° de brevet: |
EP1468222 (A1) |
| Date de publication: |
2004-10-20 |
| Inventeur(s): |
RECHTMAN YURI M [US]; |
| Demandeur(s): |
NOOTER ERIKSEN INC [US]; |
| Classification: |
F22B37/02;F22D1/00; |
| N° de demande: |
EP20030703743 20030109 |
| Numéro(s) de priorité: |
WO2003US00674 20030109;US20020052137 20020117 |
Un appareil de mesure du flux gazeux mesure le flux de gaz émis à partir d'une source de lumière EUV dans une chambre source de lumière qui supporte une source de lumière EUV, et comprend un absorbeur qui reçoit la lumière émise depuis la source de lumière EUV introduite dans l'appareil de mesure du flux gazeux.
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