MIROIR INCLINABLE- Brevets WO03040796 (A1)

MIROIR INCLINABLE

N° de brevet:	WO03040796 (A1)
Date de publication:	2003-05-15
Inventeur(s):	SINGER WOLFGANG [DE];WEISS MARKUS [DE];SEIFERT ANDREAS [DE];MELZER FRANK [DE];MANN HEINZ [DE];
Demandeur(s):	ZEISS CARL SEMICONDUCTOR MFG [DE];SINGER WOLFGANG [DE];WEISS MARKUS [DE];SEIFERT ANDREAS [DE];MELZER FRANK [DE];MANN HEINZ [DE];
Classification:	G02B5/09;G02B5/10;G02B7/182;G02B7/198;G02B26/08;G02B27/00;G03F7/20;H01L21/027;
N° de demande:	WO2002EP11773 20021022
Numéro(s) de priorité:	DE20011055261 20011109

Miroir inclinable, en particulier, facette de miroir (2) pour miroir à facettes (1), comprenant une pluralité de tels miroirs inclinables (2), présentant une surface de miroir (5) et un dispositif support. La surface de miroir (5) est réalisée sous la forme d'une surface dans un évidement (4) ménagé dans un élément sphérique (3), ledit élément sphérique étant monté dans le dispositif support.