L'invention concerne un dispositif d'alignement comprenant un plateau mobile, une pluralité d'éléments de support mobiles destinés à servir de supports mobiles au plateau mobile, un dispositif destiné à la lecture d'une marque de reconnaissance, et un dispositif de commande destiné à commander le mécanisme d'entraînement du dispositif de support mobile sur la base d'informations provenant du dispositif de reconnaissance. Chaque dispositif de support mobile comprend un dispositif composé d'une paire de blocs de support permettant d'entrer en contact avec le plateau mobile ou de se séparer de ce dernier et une paire d'unités d'entraînement piézo-électriques comprenant un premier, deuxième et troisième élément piézo-électrique extensible reliés aux blocs de support et s'étendant dans chaque direction, et capable d'opérer par rapport au plateau mobile par sollicitation de chaque unité d'entraînement piézo-électrique. Ce dispositif permet d'obtenir une précision d'alignement de l'ordre de 1 nm. Ainsi, le dispositif d'alignement en soi et par conséquent l'ensemble de l'appareil utilisant ce dispositif d'alignement peuvent être sensiblement réduits en épaisseur et en taille.