SUPPORT DE SUBSTRAT DESTINE A L'EPITAXIE DU SiC ET PROCEDE PERMETTANT DE FABRIQUER UN INSERT DESTINE A UN SUSCEPTEUR

N° de brevet: EP1051535 (A2)
Date de publication: 2000-11-15
Inventeur(s): RUPP ROLAND [DE];WIEDENHOFER ARNO [DE];
Demandeur(s): SICED ELECTRONICS DEV GMBH &C [DE];
Classification: C30B25/02;C30B25/12;H01L21/68;H01L21/687;
N° de demande: EP19990907245 19990118 
Numéro(s) de priorité: WO1999DE00097 19990118;DE19981003423 19980129 
On décrit un dispositif d'amenée de pièces destiné à un robot, qui comporte une zone de sélection (40) accessible au robot, un moyen (40) de modification stochastique de l'orientation et/ou de la position des pièces, et un moyen comportant un élément de remise en circuit de pièces (30) destiné à remettre les pièces en circuit. Le moyen (40) de modification stochastique de l'orientation et/ou de la position des pièces est une plate-forme vibrante (40) servant en même temps de zone de sélection (40). L'élément de remise en circuit de pièces (30) et la plate-forme vibrante (40) peuvent être mis dans deux positions relatives différentes l'un par rapport à l'autre, de telle sorte que dans la première position la plate-forme vibrante (40) puisse être équipée en pièces par l'élément de remise en circuit de pièces (30), et que dans la deuxième position les pièces qui tombent vers le bas à partir de la plate-forme vibrante (40) puissent être reçues par l'élément de remise en circuit de pièces (30). Du fait que l'élément de remise en circuit de pièces (30) sert d'une part de réservoir de pièces pour l'équipement de la plate-forme vibrante (40) en pièces provenant de l'élément de remise en circuit de pièces (30), et d'autre part d'élément de réception (30) pour les pièces qui tombent vers le bas à partir de la plate-forme vibrante (40), le dispositif d'amenée de pièces peut, sans dispositif de transport de pièces, réaliser un entraînement horizontal des pièces, comme les convoyeurs à bandes, les rails linéaires ou similaires. Ceci autorise une structure extrêmement simple et peu encombrante du dispositif d'amenée de pièces.

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