CROISSANCE IN SITU DE COUCHES D'OXYDE ET DE SILICIUM

N° de brevet: EP1044291 (A1)
Date de publication: 2000-10-18
Inventeur(s): FERRO ARMAND [US];RAAIJMAKERS IVO [US];FOSTER DERRICK [US];
Demandeur(s): ASM INC [US];
Classification: C23C16/44;C23C16/48;C30B25/02;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/336;
N° de demande: EP19990901394 19990108 
Numéro(s) de priorité: WO1999US00463 19990108;US19980070991P 19980109 
La présente relate la capacité pour un dispositif de fixation de ranger un produit tel qu'une plaquette de circuit imprimé en tenant compte qu'il est capable de loger une gamme de plaquettes de circuit imprimé de dimensions différentes. Le dispositif de fixation peut être réglé de telle sorte qu'on prévoit des moyens de serrage qui peuvent s'engager sélectivement dans des moyens de fixation prévus sur le dispositif de fixation pour s'adapter avec les dimensions d'une plaquette de circuit imprimé particulière. Ceci permet de réutiliser le dispositif de fixation, ce qui est contraire à ce qui se passe de manière conventionnelle.

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