L'invention concerne un procédé de déconvolution d'images à champ lointain au-delà de la limite de diffraction, le procédé consistant à utiliser des données optiques à champ proche et d'autres données scannées d'imagerie de sonde pour fournir de nouvelles et puissantes contraintes à la déconvolution d'ensemble de données à champ lointain. Des données à champ proche, de type de celles obtenues avec un microscope à force atomique sur une région de l'ensemble de données à champ lointain, sont utilisées pour obtenir des résolutions au-delà de la limite de diffraction de la lentille utilisée. Dans le cas d'imagerie optique non linéaire ou d'autres types de microscopie, on peut obtenir des résolutions dépassant celles que l'on peut atteindre avec ces types de microscopie.