L'invention concerne un procédé pour surveiller une décharge de tension alternative entre les électrodes d'une double électrode, notamment entre deux cibles utilisées pour la pulvérisation cathodique. Ce procédé consiste à mesurer l'intensité de décharge et/ou la tension de décharge de chacune des deux demi-ondes à l'intérieur d'une période de décharge de tension alternative et à comparer la différence entre les valeurs de mesure respectives de la deuxième demi-onde et les valeurs de mesure correspondantes de la première demi-onde avec des valeurs prescrites de tolérances spécifiques. En cas de dépassement de ces dernières, l'alimentation en énergie est réduite de sorte que la décharge soit supprimée pendant un court laps de temps.