APPAREIL DE MESURE DE LA DUREE DE VIE DES PORTEURS MINORITAIRES DANS UN CORPS SEMICONDUCTEUR

N° de brevet: WO9912045 (A2)
Date de publication: 1999-03-11
Inventeur(s): AHRENKIEL RICHARD K;
Demandeur(s): MIDWEST RESEARCH INST [US];
Classification: G01N27/00;G01R31/265;H01L21/66;
N° de demande: WO1998US18132 19980902 
Numéro(s) de priorité: US19970922003 19970902 
L'invention concerne un appareil (30) permettant de déterminer la durée de vie des porteurs minoritaires d'un échantillon semiconducteur (32), cet appareil comprenant un dispositif de positionnement destiné à déplacer ledit échantillon par rapport à une bobine (44). Cette bobine (44) est reliée à un montage en pont (42), de sorte que l'impédance de l'un des bras de ce montage en pont (42) varie selon la position dudit échantillon par rapport à la bobine (44). Cet échantillon (32) est placé par rapport à cette bobine (44) de manière à ce que tout changement de la photoconduction de cet échantillon (32), du à l'éclairage de ce dernier, engendre une modification en relation linéaire avec l'impédance d'entrée du montage en pont (42). En outre, cet appareil (30) est réglé de manière à pouvoir fonctionner sur une fréquence fixe, afin que les échantillons de diverses tailles, formes, et propriétés matérielles, puissent conserver une sensibilité et une linéarité relativement élevées. Lorsqu'une source lumineuse (34) éclaire ledit échantillon (32), l'impédance du montage en pont (42) subit une modification en raison de l'excès de porteurs généré dans cet échantillon (32), produisant ainsi un signal destiné à être mesuré pour indiquer la durée de vie des porteurs minoritaires ou la vitesse de recombinaison dudit échantillon (32).

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