COMBINAISON DE CRYOPOMPE ET DE POMPE GETTER ET PROCEDE POUR LA REGENERER
| N° de brevet: |
WO9735652 (A1) |
| Date de publication: |
1997-10-02 |
| Inventeur(s): |
LORIMER D ARCY H [US]; |
| Demandeur(s): |
SAES PURE GAS INC [US];LORIMER D ARCY H [US]; |
| Classification: |
F04B37/02;F04B37/08; |
| N° de demande: |
WO1997US04974 19970325 |
| Numéro(s) de priorité: |
US19960014240P 19960326 |
L'invention concerne une combinaison de cryopompe et de pompe getter (50) comprenant une partie cryopompe (52) munie d'une entrée (76) cryopompe, une partie pompe getter (54) munie d'une entrée (86) pompe getter et un mécanisme (60) servant à coupler la partie cryopompe (52) et la partie pompe getter (54) à une ouverture commune (58) d'une chambre de production à évacuer. De préférence, une partie pompe getter cylindrique (54) entoure une partie cryopompe cylindrique (52). De préférence, la partie cryopompe (52) et la partie pompe getter (54) sont couplées à l'ouverture commune (58) de la chambre de production par un mécanisme (60) de vanne d'arrêt. Dans un mode de réalisation, le mécanisme (60) de vanne d'arrêt isole l'entrée (76) de la cryopompe et l'entrée (86) de la pompe getter en position fermée. Dans un autre mode de réalisation, le mécanisme (60) de vanne d'arrêt n'isole pas l'entrée (76) de la cryopompe et l'entrée (86) de la pompe getter en position fermée. De préférence, une isolation thermique (78), placée entre la partie pompe getter (54) et la partie cryopompe (52), isole thermiquement ces deux parties. La partie cryopompe comprend de préférence un ensemble (72) à 15 DEG K et un ensemble (70a-d) à 80 DEG K.
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